依据臭氧发生器的工作原理，其配套的辅助系统也就显得尤为重要。辅机系统主要包括闭路冷却系统、加氮系统、排出系统和双向呼吸阀。

闭路冷却系统。

    内循环的水带走臭氧产生过程中多余的热量，并将热量带到外部循环水中。

    它包括热交换器，循环泵，膨胀罐，压力开关等。

    臭氧发生器空气源设计的冷却水量为3-4m3/kgO3/h，氧型臭氧发生器设计冷却水量为1.7-2m3/kgO3/h。

    因为臭氧机材料一般是SS316，所以内部循环水需要用除盐水来冷却，以缓解臭氧发生器的腐蚀。

    外循环水可以使用自来水，但其温度一般≤28℃，因为水温过高会降低臭氧发生器的工作效率，从而增加电耗。

2.加氮系统。

    含氮气体时，臭氧发生器的工作效率和放电体寿命将得到提高，在不增加电力消耗的前提下，可提高臭氧产率。

    由于空源型和富氧源臭氧发生器的气源本身含有氮，因此该系统只适合于液氧源臭氧发生器。

    该系统主要由空气压缩机、储气罐、空气冷却器(冻干机)、空气干燥器(吸附干燥机)和过滤器组成，氮气补充量按2-5%设计。

3.尾气过滤器。

    余下的臭氧层向大气释放本身就是一个污染源，需要控制臭氧层排放浓度。

    即便是在合适的扩散体系下，从反应池排放的气体也会含有更多的臭氧。

    本实用新型采用高温加热分解和填料催化分解两种形式，可控制臭氧排放浓度小于0.08ppm。

    汽车尾气清洗器要在室内设计，如果没有进行室内设计，就需要安装轻型结构的隔热板房，房间高度不低于3米。

4.双向呼吸阀。

    装于臭氧催化氧化罐或氧化池的顶部，保持大气压力的平衡(罐体或池体是密封的)。