臭氧发生器在工作过程中，电耗大都以热量的形式散发出来，为降低臭氧分解，温度必须控制在30℃以下，臭氧发生器产生的热量需要释放出来，臭氧发生器冷却系统通过流过放电管外壁的冷却水来实现。任何不锈钢均对氯离子腐蚀相当敏感，特别是氯离子浓度高时需要相当重视：腐蚀的能力受水温和PH值的影响，水温越高PH越低腐蚀越快。臭氧放电室对冷却水质要求：PH值6~9，浑浊度≤1度（NTU），压力0.2~0.4Mpa，温度≤28℃，氯离子峰值＜150mg/l。

  当冷却水水质不好的情况下，一般采用封闭式循环冷却水系统， 外部采用水质相对较差的水源通过板式换热器对内循环水冷却。而内循环水一般采用去离子水或软化水，保证对臭氧发生器放电室不腐蚀，不结垢。

  循环冷却水管道材质要求：内循环冷却水一般使用SS304以上无缝不锈钢管或者UPVC给水管材，外循环冷却水需要更加外循环冷却水水质确定，主要考虑避免PH值对铁质、氯离子等对不锈钢的腐蚀以及结构。

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