一种是以单位体积内所含臭氧的质量数表示，常用的单位有mg/L、mg/m³、μg/m³简称质量浓度，它们的关系是：1mg/L= 10³mg/m³ = 10⁶μg/m³

我国各种标准均采用质量浓度。

另一种用ppm或ppb作为浓度单位，称为体积浓度。ppm（parts permillion）单位是指在100万气体体积中含有臭氧的体积数，在美国、日本等国家习惯使用体积浓度。1ppm= 10³ppb

但是ppb（parts per million）的含义不明确。在美国和法国，“billion”的意义为十亿（10⁹），ppb意味着十亿分之一（10^-9）；而在英国和德国，“billion”为万亿（10¹²），ppb意味着万亿分之一（10^-12）。因此，这是一种容易混淆的表达方式。国际纯粹化学与应用化学协会与1971年7月作出“不宜采用”的决定。

在我国ppb一般指10^-9。

也有用体积百分比%（vol）和pphm来表示体积浓度的，它们的关系式是

1%（vol）= 10⁴ppm= 10⁶pphm = 10⁷ppb

两种单位可用下面公式换算：

X（ppm）=   22.4/M   /A（mg/m³）或A= M/22.4    •X

式中：A——以mg/m³表示的臭氧浓度

      X——以ppm表示的臭氧浓度

      M——气体的摩尔量（臭氧为48）

    22.4——NPT（标准状态，273K，101.3kPa，即0℃，760mmHg）的气体摩尔体积

例如，大气中的臭氧含量为1ppm，则用mg/m³表示。

1ppm=48/22.4*1  =2.14（mg/m³）。

在美国、日本和国际全球检测系统内的标准状态是指298K（25℃）和101.3kPa（760mmHg）这时的气体体积为24.45L/mol，这样

1ppm = 1.963mg/m³。

还有一种用重量百分比来表示臭氧的浓度。一般用%（wt）表示，%（wt）的含义是：臭氧的质量/含有臭氧气体的质量×100%。

这样，在标准状态下

1ppm = 2.14mg/m³= 1.66×10^-4%（wt）