1980年9月本溪轻化工研究所研制陶瓷介质材料臭氧发生单元。

河北邯郸718研究所、宁夏大学、清华大学等单位开发了“开式”臭氧发生器产品，应用于蛋果蔬易腐食品防霉保鲜、食品加工杀菌净化等领域。

1981年，李汉忠教授担任清华大学通力臭氧研究中心主任，与黄曼青、黄元生等人一起，在原有工频臭氧发生器技术的基础上，开发了小型的高频臭氧发生器，其中空气源25g/h高频臭氧发生器获得了国家科技奖励。

1981年开始，清华大学设备仪器厂李汉忠、黄曼青、王淑玲等先后与环境系、自动化系合作组成研制小组，开发研制了板式高频逆变电源臭氧发生器系列产品，弥补了国家的高中频臭氧技术空白。其中CN87107561X《脉冲型高频臭氧电源》是我国最早的臭氧技术发明专利，而CN85200020《双面放电叠层臭氧放电室》则是我国第一个臭氧技术专利。3g/h~200g/h系列板式、管式高中频臭氧发生器产品分别获解放军科技进步二等奖、北京市高新技术产品等奖项，在导弹推进剂污水处理，化学战剂解毒等项目和食品加工贮藏防霉保鲜等领域应用。此系列产品通过技术转让、产品推广等扩散途径对臭氧技术行业的进步发展起到了推动作用。

82年、84年，清华大学王占生，沈英鹏、张汉升等研制的1kg/h、2kg/h臭氧发生器进行了部、省级产品鉴定。该系列产品应用于北京东方红炼油厂废水处理、北京燕山石化饮用水车间、东北等地多所医院污水处理等领域。其中80年代中期燕山石化水厂5×1kg/h臭氧设备，利用臭氧——活性炭工艺处理密云水库源水。至今仍在正常运行。这是当时使用国产臭氧设备发生量最大的臭氧水厂，也是运行时间最长的臭氧水厂。

上海海医所丁南瑚与上海导航仪器厂合作研制板式臭氧发生器，并应用于海军舰艇日常用水的消毒处理。

上海香料二厂在市臭氧协作支持下进行双水内冷中频臭氧发生单元的研究，中频电源由上海长江电器厂研制，并应用于香料的生产。

早期的臭氧检测技术除国外已有的碘量法外，在八十年代，北京劳动环保研究所杨存金高级工程师研制了半定量的靛蓝法检测管，山东滨州商检局的比色法，中科院环化所的库仑法，尤其是北京气体分析仪器厂的紫外吸收法，使我国臭氧检测达到世界水平，而且得以实现在线检测。