臭氧化法水处理装置的管道设备基本上是用一般材料制造的，这些材料广泛用于普通水处理系统中。防腐材料仅用于臭氧化气的输送，臭氧发生器及水-臭氧接触反应器的制造。为了节省稀有贵重金属（不锈钢），反应器可采用涂防护层的碳质钢制造。搪瓷涂面及粉状聚合材料盖面是最有效和最可靠的防护层（在用臭氧化法处理含氰污水时，水臭氧接触反应器采用碳质钢并以环氧树脂为主要成分的环氧型混合防腐剂，且已有一定的运转经验）。处理饮用水的鼓泡反应器经常具有庞大的体积，并采用混凝土建造。

从臭氧发生器至反应器对臭氧化气的输送常常采用不锈钢管道。聚氯乙烯（添加光稳定剂烟道碳黑）管道对臭氧的作用也具有足够的稳定性。但是臭氧介质中长期使用后，其强度有所下降。最好采用不锈钢钢管，因为它既具有很高的稳定性，也具有足够强的强度。

臭氧输送是的困难在于它是一种不稳定的气体，无论在均质接触剂（卤素，光线，氮氧化物，碳水化合物，过氧化物）或是在非均质接触剂（金属及其氧化物）作用下都会分解。因此，采用玻璃管（型号CT8及CT4）输送臭氧是一种最有前途的方法。这种玻璃管的工作压力相应为0.8MPa及0.4MPa，其直径为20~122mm，长度为3.5~10m。但工业生产实践中采用玻璃管输送臭氧的经验还没有。

输送臭氧管道法兰连接处的密封垫可采用塑料垫（增塑后的软聚氯乙烯塑料，氟化塑料，特氟龙等），建议在法兰表面上设密封止气线槽。

在鼓泡反应器中采用微孔陶瓷和金属布气元件分配臭氧化气时，当其安装以后，应利用压缩空气对管道进行吹洗，以去除污染物和碎屑。