吸附和分解是辅助臭氧破坏可能采用的另一项技术，也就是在气体循环过程中。硅胶刚活化时，具有从不稳定气体中固着臭氧的特性。此种性能的数据概括于图6-8。理论接触时间等于8~10s，同时硅胶逐渐失效。经若干次热再生之后，硅胶的臭氧分解性能被降低。分子筛含有类似硅胶性能的万分，不过失效比硅胶慢一些。而且，在延长运行时间后活化点的失活也不是不可逆的。

关于吸附-分解技术操作的严格条件，包括再生期间所吸附臭氧的热分解，需要进一步研究。有关吸附材料反复热再生的磨耗和退化方面更要特别注意研究。

上述这些方法的主要目的是列出能通过吸附从尾气中浓缩臭氧的接触材料，并能将比原来尾气流量体积减少的气体通过加热使之热分解和（或）催化分解。有关这方面主题的资料早有发表，不过，进一步研究一直在进行。最有前途的材料是吸附分子筛。

然而，某些臭氧设备制造厂家关心臭氧吸附到固体表面上可能造成安全问题。这是因为除了臭氧之外挥发有机物也可能浓集在吸附剂表面。如果臭氧和有机物的浓度变得相当高，所吸附有机物的氧化可能同所吸附臭氧的分解一起强烈发生。由于这些可能性，制造厂家建议：先破坏接触器尾气中的臭氧，然后处理过的尾气再循环通过吸附剂。