此法始终是最广泛用于水臭氧化的接触装置，特别在净水处理中。扩散元件一般是多孔钛板曝气盘或陶瓷管。不过，不锈钢底板或塑料扩散头也可以用。

扩散器装于喷射或接触池的底部，在池内必须保持充分的反应时间，例如水平均停留时间达到20min。标准布置是隔成一连串的四到六间径流室。 

  此法基于活塞流反应器原理，接近“间歇型”反应动力学。所以，总臭氧消耗可分成相应几股支流进到每座相邻室内，以维持一个较稳定的溶解臭氧剩余浓度。这一方法的目的是来分解难降解化合物并保证最后处理的杀病毒作用。大多数情况下，第一次投加满足直接臭氧要求，可设计成投加总臭氧量的50%~70%。在第一接触室内一般保持8.333×10^-6mol/L（0.4mg/L）的剩余臭氧浓度，它是靠投加平衡量的臭氧予以保持的。

扩散器应产生具有平均有效直径约2mm的气泡。实际应用中是将孔径大小50~100μm的扩散器安装在水深4~6m的池底上。此种淹没式多孔扩散器的水头损失必须保持在300~500mmH₂O。每座接触池内平均气体流量一般保持在水流量的10%以下。

气泡直径r=2mm，然后根据气泡表面积估计每m³水气液交换总有效面积，近似等于0.150m²/m³水。

在传统接触池中，水的平均下流速度约等于4~125px/s，它对气泡上升速度作用有限。目前趋势是水的下流速度提高到10~375px/s。这种方法要求在足够的压力下（例如达到0.07MPa）投加臭氧化气以克服水柱的以及扩散装置的水头损失。为防止水中夹吸的气泡进入到邻室，隔板之间水的移动速度应限制在低于750px/s。要想利用它们作为一项防护设施，各个隔开的室必须在气相上相通。投加室应设计成在每一可能的情况下均能避免短路，以及避免随之发生的投加到过量区或不足区。