向水中喷注臭氧是用臭氧化气来完成的，工艺气体的起始浓度在4.17×10^-4mol/L（20g/m³）数量级。假设一般接触装置的实际效率90%，尾气中臭氧浓度可能达到4.17×10^-5mol/L（2g/m³）。在重复喷射或预臭氧化中，尾气中的最终损耗能达到4.17×10^-6~1.04×10^-5mol/L（0.2~0.5g/m³）的程度。

臭氧的极限值（TLV）为4.46×10^-9mol/L，或大约0.2mg/m³，而当停留时间短于30min时，可允许1.25×10^-8mol/L（0.6mg/m³）的浓度。臭氧的毒性特别是环境浓度高于TLV或最大容许浓度值（MAC）的毒性另有文献评论。

含臭氧尾气处理的另一问题是同臭氧在大气中可能产生的影响有关。在大多数地区，“天然”大气臭氧浓度随纬度在（0.179~1.79）×10^-8mol/L间变化，平均地面浓度在8.93×10^-10mol/L数量级。季节变化对这些浓度有重大影响。昼夜因素也影响地面臭氧浓度，人口稠密区最高臭氧浓度一般是在日没时观测到的。

根据最近有关臭氧在环境大气中稳定性的研究，臭氧在雾中的半衰期约为4~5h.，此问题同因臭氧处理厂至住宅区的距离引起的争议有关。

臭氧嗅味的检测极限在（0.893~2.23）×10^-9mol/L的范围内。浓度达到1.34×10^-9mol/L以前人的工作能力是不受抑制的，在此浓度下的申诉仍属于主观上的。已有关于暴露在（0.893~1.34）×10^-9mol/L臭氧后无有害影响的报道。不危害植物生长的地面臭氧限制浓度为4.46×10^-8。

有关操作区和设备的安全预防措施也必须加以考虑，文献中已有评论。这些措施包括工作室的适当通风，与接触池水连接严实，以及用来查出从连接到钢筋混凝土接触池的电缆和管路泄露的专用设备。必须特别强调的是要采取适当措施将尾气中的臭氧分解，同时还必须注意，为了保护检测设备的电子器件，工作场所的通风也是必要的。