沿面放电型发生器原理属于电晕放电，其放电区发生在高压电极边缘表面，由高压闪络形成。沿面放电区空气电晕能量集中，功率密度较高，需要良好的冷却。

此型发生器有充惰性气体氖（Ne）或（Ar）的玻璃放电管和陶瓷片两种，其结构简图如下：

充气玻璃放电管发生器国外称作臭氧灯，八十年代初外国远洋食品冷藏船舱杀菌防霉就使用这种臭氧发生器。我国邯郸、大连等船舶工业相关单位首先研制了这种产品，做成5g/h的发生器用于鸡蛋、果蔬冷库消毒与保鲜。由于结构简单、工艺要求低，我国很快发展了这种用于医疗行业和消毒柜的微型管式发生器，数量很大，价格便宜。但经多年实践检验，该种发生器大多数寿命极短，一般连续工作几百小时后产生的臭氧量即所剩无几了。

臭氧陶瓷片资料见于七十年代日本专利文献，八十年代鞍山静电技术研究院与日方合作引进生产技术，北方交通大学与重庆师范学院同期也合作研制过同类陶瓷片臭氧产品。九十年代，一批公司推出几种规格臭氧陶瓷片，并有以“等离子体发生器”冠名。陶瓷片结构简单，工艺标准化后价格也会比较低廉，其寿命比充气玻璃管要长。鞍山静电研究院与成都正邦公司的产品采用地极被封闭，陶瓷、高压极防氧化涂膜工艺，对提高质量、延长寿命大有好处。

沿面放电器件作为医疗、家电产品微型发生器的臭氧源具有很大优势，其电耗在40kw·h/kgO₃上下，由于产量在克级以下，电耗高点影响不大。作为工业应用产品困难很多，电耗将更高。

沿面放电器件产生臭氧浓度低，作水净化应用的臭氧源较为困难。