电晕放电合成臭氧是目前世界上应用最多的臭氧制取技术，此技术能构使臭氧产量单台达500 kg/h以上。

电晕放电法（无声放电或辉光发电法）就是一种干燥的含氧气体流过电晕放电区产生臭氧的方法。常用的原料气体有：氧气空气以及含有氮、二氧化碳，或许还有其他惰性稀释气体的含氧混合气体。

臭氧的产生机理：

虽然有若干机理可能同电晕内臭氧的形成有关，但①式特殊反应途径被认为是主要的。

e + O₂→ 2O + e             ①

利用高速电子轰击氧气，其分解成氧原子。高速电子具有足够的动能（6～7eV）,紧接着通过三体碰撞反应形成臭氧。

O + O₂ + M →O₃ +M       ②

式中M是气体中任何其它气体分子，不过与此同时，原子氧和电子也同样同臭氧反应形成氧气。

O + O₃ →2O₂                ③

e + O₃→O + O₂ +e         ④

此外，电晕内的气体是处于可促进臭氧分解反应的高温下，所以净臭氧产量或出口产气组成是形成和分解臭氧所有反应的总和。净产率依众多因素而变，包括：原料气的氧气含量和温度、原料气含的污染物、达到的臭氧浓度、电晕中的功率密度、冷却剂的温度和流量及冷却系统的效率。这些因素都影响着实用的、经济上有吸引力的臭氧发生器和系统的设计。