臭氧的发现及认识过程，是人类应用臭氧的开始，臭氧应用使臭氧制取技术得以快速发展，人工产生臭氧的方法按原理分为光化学、电化学、原子辐射和电晕放电等几种。原子辐射法用得极少，工业应用臭氧源大多采用气体电晕放电型的臭氧发生器。目前用于实际的臭氧合成技术有如下几种：

光化学法——紫外线臭氧发生器

此方法是光波中的紫外光会使氧气分子O₂分解并聚合成臭氧O₃，大气上空的臭氧层即是由此产生的。

波长λ＝185nm（10^-9m）的紫外光效率最高，此时，光量子被O₂吸收率最大。其反应基本过程为：

O₂+ hr→O + O

O₂+ O + M→O₃+M

hr——紫外光量子；

M——存在的任何惰性物体，如反应器器壁、氮、二氧化碳气体分子等。

使用185nm紫外光产生臭氧的光效率为130gO₃/kw·h，是比较高的。但目前低压汞紫外灯的电－光转换效率很低，只为0.6%～1.5%，则紫外法产生臭氧的电耗高达600kwh/kgO₃，即1.5gO₃/kw·h，工业应用价值不大。

紫外法产生臭氧的优点是对湿度、温度不敏感，具有很好的重复性。同时，可以通过灯功率线性控制臭氧浓度、产量。这两个特性对于臭氧用于人体治疗与作为仪器的臭氧标准源是非常合适的。